삼성전자, 업계 최초 D램에 EUV적용…D램의 새로운 패러다임 제시

김소현 / 기사승인 : 2020-03-25 11:49:37
  • 카카오톡 보내기
  • -
  • +
  • 인쇄

 

[스페셜경제=김소현 인턴기자]삼성전자가 업계 최초로 D램에 EUV(Extreme Uitra Violet, 극자외선)공정을 적용해 양산(대량생산)체제를 갖췄다.

삼성전자가 EUV공정을 적용해 생산한 1세대 10나노급(1x) DDR4(Double Data Rate 4) D램 모듈을 100만개 이상을 공급하여 글로벌 고객 평가를 완료했다고 25일 밝혔다.

삼성전자는 메모리 업계 최초로 EUV공정을 전면 적용해 반도체 미세공정의 한계를 돌파할 채비를 갖추고 D램의 새로운 패러다임을 제시했다.

EUV공정은 반도체를 만드는데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 기술이다. 이 기술을 적용하면 회로를 새기는 작업인 멀티 패터닝 공정을 줄이고 정확도를 높여 성능과 수율을 향상시킨다. 제품개발기간을 단축할 수도 있다.

삼성전자는 현재 EUV공정으로 14나노 초반대 ‘4세대 10나노급(1a) D램 양산 기술’을 개발 중이다. 4세대 10나노급(1a) D램은 1세대 10나노급(1x) D램보다도 12인치 웨이퍼당 생산성을 2배 높여 사업경쟁력을 더욱 강화할 수 있다.

삼성전자는 내년, 성능과 용량을 더욱 높인 4세대 10나노급(1a) D램(DDR5, LPDDR5)을 양산하고 5세대, 6세대 D램도 선행 개발해 프리미엄 메모리시장에서 기술 리더십을 더욱 개발해 나간다는 전략이다.

한편, 삼성전자는 올해 하반기 평택 신규라인을 가동함으로써 증가하는 차세대 프리미엄 D램 수요에 안정적으로 대응할 양산체제를 구축할 계획이다.

더불어 내년부터 DDR5/LPDDR5 D램 시장의 본격 확대에 맞춰 글로벌 IT고객과 기술협력을 강화하고 업체간 다양한 표준화 활동을 추진해, 차세대 시스템에서 신제품 탑재 비중을 지속적으로 높여 나갈 예정이다.

이정배 삼성전자 메모리사업부 부사장은 “업계 최초로 EUV공정을 D램 양산에 적용해 글로벌 고객들에게 더욱 차별화된 솔루션을 한발 앞서 제공할 수 있게 됐다”며 “내년에도 혁신적인 메모리 기술로 글로벌 IT시장이 지속적으로 성장하는데 기여할 것”이라고 밝혔다.

 

(사진제공=삼성전자)

 

스페셜경제 / 김소현 기자 sohyun2774@speconomy.com 

[저작권자ⓒ 스페셜경제. 무단전재-재배포 금지]

스페셜 기획

뉴스댓글 >